五角棱镜扫描系统中调整误差及制造角差的影响分析

• 作者: 刘志祥 卞江 马冬梅 马磊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 五角棱镜扫描系统 误差分析 光线矢量追迹 MATLAB
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2517-2523
• 页数: 7页
• 分类号: TH741|TB92
• 字数: 3805字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.12.032

摘要

为了精确测量光学表面的表面斜率,从而实现光学表面面形的高精度测量,全面分析了五角棱镜扫描系统中的调整误差及五角棱镜的制造角差对测量光束的指向精度和被测面表面斜率测量精度的影响.根据旋转变换矩阵和光线矢量追迹理论,运用MATLAB编写了精确计算测量光束指向误差和测角仪测量值的程序,通过对各误差组合的计算结果进行二维二次多项式拟合,推导出在一定角度范围内,用于计算指向误差和测角仪测量值的二阶近似公式.分析结果表明,测角仪的俯仰角和五角棱镜的制造角差对沿扫描方向的指向误差和测角仪垂直方向的测量值的影响是常量,五角棱镜在扫描过程中的偏摆角和滚动角与其成二次函数关系;五角棱镜的偏摆角和滚动角、测角仪的偏摆角与垂直扫描方向的指向误差和测角仪水平方向的测量值均成线性关系.当导轨的滚动角为10"、偏摆角为10",系统的各项调整误差为士3"时,沿扫描方向的最大测角误差为0.001 066 6".

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	172	7.0	12.0
5	马冬梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	48	388	11.0	15.0
6	刘志祥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	79	5.0	8.0
10	卞江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	57	3.0	4.0