热电式微波功率传感器的优化设计

• 作者: 廖小平 韩磊 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热电式 微波功率 解析模型 二维热分布
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 789-793
• 页数: 5页
• 分类号: TN377|TN405
• 字数: 4712字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.04.034

摘要

提出了一种热电式微波功率传感器的二维热分布解析模型,通过分析传感器的各种结构参数对热分布的影响,给出了热电式微波功率传感器的优化设计.为了获得高灵敏度,给出了设计膜的厚度、匹配电阻与热电堆热端的距离、热电堆悬浮部分的长度等结构参数的原则,并利用Ansys模拟结果和解析结果进行对比验证,结果显示两者吻合较好,说明了解析模型的适用性,可在设计该类传感器时参考.