RTD在压力下的弛豫振荡特性

• 作者: 乔慧 仝召民 刘俊 张斌珍 薛晨阳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿二极管 弛豫振荡 喇曼光谱仪 压阻效应
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 39-44
• 页数: 6页
• 分类号: TM131.4+1
• 字数: 755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.01.008

摘要

报道了共振隧穿二极管(RTD)在压力下的弛豫振荡特性.采用Pspice 8.0软件仿真并设计了振荡电路,测得其振荡频率达200kHz.在(100)半绝缘(SI)GaAs衬底上利用分子束外延(MBE)技术生长了AlAs/InxGa1-xAs/GaAs双势垒共振隧穿结构(DBRTS),并采用Au/Ge/Ni/Au金属化和空气桥结构成功加工出了RTD.由于RTD的压阻效应,采用显微喇曼光谱仪标定所加应力大小,对RTD在加压条件下的振荡特性进行了研究,结果表明其弛豫振荡频率大致有-17.9kHz/MPa的改变量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	107	535	12.0	18.0
4	仝召民	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	7	22	2.0	4.0