微机电系统(MEMS)磨损的分形分析

• 作者: 周焱 朱建新 熊翔
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 磨损 分形 磨损率
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2634字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2008.06.018

摘要

基于M-B分形磨损模型,建立微机电系统(MEMS)表面磨损率与分形维数之间的关系,对MEMS表面的磨损规律与表面特性进行相关分析.结果表明,分形维数对MEMS表面磨损率的影响具有一定的规律性,当分形维数在某一范围时,磨损率随着分形维数的减小而迅速增大;当分形维数为1.5时,磨损率达到最小值.当分形维数一定时,磨损率随着尺度系数、磨损概率常数的增大而增加,随着MEMS材料性能参数的增大而减小.当其它影响参数保持一定时,磨损率随着MEMS表面接触面积的增大而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱建新	中南大学机电工程学院	86	841	14.0	24.0
2	熊翔	湖南科技职业学院机电工程与技术系	18	45	5.0	6.0
3	周焱	湖南科技职业学院机电工程与技术系	5	27	3.0	5.0