基于FPGA的数字式电容检测系统

• 作者: 周晓奇 王跃林 郑阳明 金仲和
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式加速度计 电容检测 FPGA 直接频率合成
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 698-701
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.042

摘要

基于微机械工艺制作的加速度计,广泛采用差动结构电容变化来反映被测量的方向和大小.近年来针对该需求研制了检测微小电容变化的电路.采用基于FPGA实现的数字式电容检测系统,具有高精度和稳定度,对寄生电阻、电容不敏感,并直接采用数字接口输出.它检测电容变化范围为±2 pF,电容检测分辨率可达到0.115 fF.将系统连接到灵敏度为1.056 pF/g的加速度计后,可以测量的加速度分辨率为0.107 mg,对应的动态范围为4.0×104.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	王跃林	浙江大学信息与电子工程系	39	434	11.0	19.0
3	郑阳明	浙江大学信息与电子工程系	22	184	8.0	12.0
4	周晓奇	浙江大学信息与电子工程系	2	11	1.0	2.0