基于介质上电润湿的钳制式液体变焦透镜

• 作者: 刘理天 吴建刚 孙凯歌 岳瑞峰 康明 欧阳帆
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 介质上电润湿 液体透镜 表面张力 变焦
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 652-655
• 页数: 4页
• 分类号: TN942.21
• 字数: 2785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.030

摘要

提出了一种基于介质上电润湿(EWOD)的新型液体变焦透镜结构并研制出样机.它由一个依次覆盖有氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜及疏水介质膜的玻璃下极板、悬浮于其上方的一个中空金属环、以及作为透镜的去离子水滴组成.通过改变施加于ITO电极与金属环之间的电压大小,就能调控水滴的曲率,从而实现对透镜焦距的调节.实验结果表明,在0～40 V电压范围内,该透镜样机的焦距调节范围为8.51 mm至55.9 mm,可实现对2.0 cm至无穷远处物体的聚焦.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
2	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
3	吴建刚	清华大学微电子学研究所	21	236	10.0	14.0
4	康明	清华大学微电子学研究所	10	124	7.0	10.0
5	欧阳帆	清华大学微电子学研究所	5	52	5.0	5.0
6	孙凯歌	清华大学微电子学研究所	3	26	3.0	3.0