计算机微视觉的三维显微测试及构形系统的研究

• 作者: 俞必强 刘鹏飞 翁海珊
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机微视觉 微结构 三维显微测量
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TM930.9
• 字数: 2287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.2008.01.004

摘要

微结构三维显微测量是研究微加工工艺和微尺度结构特性的主要测试手段.一种基于计算机微视觉的方法被提出用来对三维微结构进行显微测量.对微结构测试及构形系统的基本原理进行了研究,构建了微结构测试及构形系统的硬件和软件平台.从而实现了在光学显微镜下对微结构的三维观测[0].通过运用微结构测试及构形系统的硬件平台实现了对微结构高分辨率的观察测量、三维精确运动控制以及水平与竖直方向的精确制动.通过软件平台完成了对微结构的三维重构.课题利用微结构测试及构形系统对微结构进行了测试及重构.通过实验,证明了理论研究和系统的可行性,该研究在微结构的测试方面具有较大的理论意义和实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁海珊	北京科技大学机械工程学院	66	549	12.0	20.0
2	俞必强	北京科技大学机械工程学院	18	84	6.0	8.0
3	刘鹏飞	北京科技大学机械工程学院	2	20	1.0	2.0