采用纳米晶柱阵列衬底抑制失配位错形成的分子动力学模拟研究

• 作者: 周浪 周耐根
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 失配位错 分子动力学 纳米晶柱 铝
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 3064-3070
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 4684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.05.071

摘要

运用分子动力学方法对纳米晶柱阵列衬底上铝簿膜的外延生长进行了模拟研究.所采用的原子间相互作用势为嵌入原子法(EAM)多体势.模拟结果表明:采用纳米晶柱阵列衬底可以在不形成失配位错的条件下释放其上生长的外延薄膜晶体中的失配应变,有效地抑制其中失配位错的形成,获得高质量的外延薄膜晶体;这种纳米晶柱阵列的几何设计应满足两个基本条件:1)晶柱的横截面尺寸应大于对应温度下的晶柱热失稳临界尺寸,以克服纳米结构的热失稳,模拟显示700K下铝的热失稳临界尺寸为1.9nm;2)晶柱的高度与间距之比应大于0.76,以保证晶柱间"沟底"部分生长的低质量的薄膜被完全遮蔽而停止生长,并且相邻晶柱上的外延层能够互相桥连形成无失配位错、高质量的薄膜晶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周耐根	南昌大学材料科学与工程学院高等研究院	34	179	7.0	12.0
2	周浪	南昌大学材料科学与工程学院高等研究院	110	1018	16.0	26.0