应用于汽车的流量传感器研究

• 作者: 余柏林 徐静平 曹蕙 甘志银 罗小兵
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 流量传感器 多层膜 温度模拟 温差式
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.01.011

摘要

研究了横膈膜式热膜流量传感器,横膈膜采用多层薄膜结构,增加其机械强度,同时保持其较低的横向热导率.模拟了横膈膜上温度的分布,分析了在不同流速下各点的温度变化.通过实验和理论模拟,得到了比较一致的结论:在低流速下,上游的冷却作用使温度明显下降,而下游的温度增加;上下游的温度差变化比较明显;随着流速增加到一定程度时,各种变化趋势变缓,上游远端甚至出现温度饱和现象,由于空气流速也对所有的芯片表面有冷却作用,下游远端也出现温度略微下降的现象,导致了上下游的温度差增加趋势变缓.因此,通过远端的电阻温度变化反映出来的流量量程较小.本研究中在加热电阻上游和下游放置两对测试电阻,提高传感器的精度和增加其量程.叠加信号电压相比单个的输出明显加强,单个信号的最大值为15.7 mV,而叠加后的信号增强到28.6 mV.同时叠加后的测试量程也得到拓宽.