晶圆制造过程中动态瓶颈设备的实时调度

• 作者: 周炳海 李晓红
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 动态瓶颈 实时调度 合弄机制
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 自动化技术、计算机技术
• 页码范围: 599-602,606
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 4008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-2467.2008.04.018

摘要

提出了一种基于合弄机制的动态瓶颈实时调度算法.该算法通过实时检测瓶颈设备、辨别设备加工状态和在制品排队长度等实时信息来合理分配加工任务,并利用一组综合型启发式调度规则对半导体晶圆制造过程中动态出现的瓶颈设备实施有效控制.仿真结果表明,所提出的算法可以缩短生产周期,降低在制品水平和保证产品交货期的良好绩效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	上海交通大学机械与动力工程学院	79	803	17.0	25.0
2	李晓红	上海交通大学机械与动力工程学院	5	116	4.0	5.0