微细光束固化的蒙特卡罗建模

• 作者: 王翔 裴香涛 邵鹏 黄文浩
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 光固化 蒙特卡罗法 遗传算法 光子输运
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 2388-2393
• 页数: 6页
• 分类号: TN23|O436
• 字数: 3578字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.12.029

摘要

光固化是光束与光敏树脂之间的光化学反应,其作用过程对光固化加工分辨率有着直接影响.基于光子输运理论,利用蒙特卡罗方法追踪光子往树脂中的运动轨迹,对曝光光束人射、传输过程进行抽样,建立了微细光束固化模型;利用遗传算法并结合光同化实验重构获得了树脂材料的光学参数;利用该崮化模型,模拟计算了微细会聚紫外光束(λ=365 nm)单点曝光同化过程和固化单元点的形状和大小,分析了不同曝光最对固化结果的影响规律,计算结果与实验结果一致.研究表明,该模型可以有效地对微细光束与光敏树脂作用的复杂过程进行仿真,并能对不同入射光和曝光工艺条件下的固化物进行模拟计算,为微细光固化机理的研究和工艺优化提供了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
2	王翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	59	399	12.0	17.0
3	邵鹏	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	9	6	1.0	2.0
4	裴香涛	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	5	10	1.0	3.0