过渡层类型对类金刚石薄膜性能的影响

• 作者: 刘力 汤皎宁 聂君兰 谷坤明
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: ECR镀膜 类金刚石薄膜 含金属碳膜 缓冲过渡层
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 87-89,108
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2008.02.023

摘要

采用电子回旋微波等离子体气相沉积和磁控溅射法相结合的方法,通过石墨靶材和金属钛靶在不锈钢和Al2O3陶瓷基片上沉积了具有不同过渡层的含钛的C薄膜,研究了不同薄膜与衬底的中间层类型对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能的影响.结果表明,导电基底更有助于成膜的致密性和均匀性,薄膜为衬底/Ti/TiN/TiCN/C结构时硬度最高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤皎宁	深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室	93	614	13.0	20.0
2	谷坤明	深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室	20	98	6.0	9.0
3	聂君兰	深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室	3	13	1.0	3.0
4	刘力	深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室	1	12	1.0	1.0