掺Sm2O3的SnO2纳米粉体对C2H2气敏特性的研究

• 作者: 刘丽 张彤 漆奇 范会涛
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2 Sm2O3 C2H2 气敏元件 纳米粉体
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 319-323
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.02.024

摘要

用化学沉淀法制备了SnO2纳米材料,利用XRD和SEM对合成产物进行了表征.采用旁热式结构制成了以SnO2为基体材料,掺杂Sm2O3的气体传感器.通过元件对C2H2气敏特性的测试表明:Sm2O3的掺杂可以明显地提高SnO2气敏材料对C2H2气体的灵敏度,当工作温度为180℃,C2H2浓度为1000ppm时,元件的灵敏度为64,响应恢复时间分别为3和20s.讨论了不同相对湿度对元件气敏特性的影响.