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摘要:
提出了用一种半导体工业用双产品模型来研究基于机台和基于产品的控制方法.在此基础上,得到了闭环系统的输出,评估了控制性能.由于NH3的挥发类似于半导体工业的机台漂移,因此对纳米级SiO2粒子进行了实验研究.在氨溶液挥发的影响下制造不同大小的SiO2粒子,以模拟在机台干扰下生产不同产品.实验研究证实了理论结果,即基于机台的方法有时不稳定,而基于产品的方法是稳定的.
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文献信息
篇名 半导体混合产品批间控制的理论与实验研究
来源期刊 半导体技术 学科 工学
关键词 批间控制 基于机台的控制方法 基于产品的控制方法 二氧化硅粒子大小控制
年,卷(期) 2008,(5) 所属期刊栏目 现代管理
研究方向 页码范围 454-457
页数 4页 分类号 TP273
字数 1998字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.05.024
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 郑英 华中科技大学控制科学与工程系 24 473 10.0 21.0
传播情况
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2008(0)
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研究主题发展历程
节点文献
批间控制
基于机台的控制方法
基于产品的控制方法
二氧化硅粒子大小控制
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体技术
月刊
1003-353X
13-1109/TN
大16开
石家庄179信箱46分箱
18-65
1976
chi
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
总被引数(次)
24788
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
湖北省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Hubei Province
官方网址:http://www.shiyanhospital.com/my/art/viewarticle.asp?id=79
项目类型:重点项目
学科类型:
论文1v1指导