罗升横河直线电机DD马达平台在晶圆激光切割机的应用

• 作者: 赵琦
• 来源期刊: 伺服控制
• 学科: 工学
• 关键词: 横河DD马达 晶圆切割 横河直线电机 高精度 重复定位精度 激光切割
• 年，卷（期）: sfkz,（2）
• 页码范围: 106-107
• 页数: 2页
• 分类号: TM359.4
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵琦	天津罗升企业有限公司伺服产品处	13	1	1.0	1.0