Ka波段硅基MEMS滤波器

• 作者: 张勇 朱健 贾世星 郁元卫 陈辰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS滤波器 耦合 基片集成波导 Ka波段
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 325-328
• 页数: 4页
• 分类号: TN603.5|TN629.1
• 字数: 1744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.035

摘要

滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件,本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器.设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器,测试结果显示该谐振器无载Q值大于180,频率误差控制在2%以内.以此为基础采用理论计算与实验设计相结合的方法设计了一个Ka波段硅基MEMS滤波器.滤波器中心频率为30.3 GHz,插入损耗1.5 dB,相对带宽5%.芯片尺寸为10.0 mm×2.8 mm×0.4 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0
3	贾世星		20	158	8.0	11.0
4	郁元卫		20	101	6.0	9.0
6	陈辰		22	120	7.0	10.0
14	张勇		5	21	3.0	4.0