MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器

• 作者: 刘君华 巨永锋 文常保 朱长纯 许宏科 邱彦章
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 MWCNT WO3 NO2气体 传感器
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1678-1681
• 页数: 4页
• 分类号: TN65|TP212
• 字数: 3367字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.10.005

摘要

以金属钨粉,H2O2C3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器.由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作用、以及MWCNT的加入都增加了气体的接触面积,提高了NO2气体的吸附和敏感作用.同时,SAW器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,该传感器对各种浓度的NO2气体具有好的响应特性,在31.2×10-9到20×10-6范围内,传感器的响应灵敏度为9.8 kHz/1×10-6,比单-MWCNT或WO3薄膜对NO2气体具有更好的灵敏度和线性特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电子与信息工程学院	224	3216	28.0	45.0
2	朱长纯	西安交通大学电子与信息工程学院	215	2372	22.0	41.0
3	巨永锋	长安大学电子与控制工程学院	142	1091	15.0	28.0
4	文常保	长安大学电子与控制工程学院	16	94	6.0	8.0
6	许宏科	长安大学电子与控制工程学院	80	985	16.0	28.0
9	邱彦章	长安大学电子与控制工程学院	22	68	6.0	7.0