HgCdTe液相外延材料组分分布的红外透射光谱评价技术

• 作者: 张传杰 杨建荣 陈新强 顾仁杰 魏彦峰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: HgCdTe LPE 红外透射光谱 纵向组分梯度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 534-538
• 页数: 5页
• 分类号: TN04
• 字数: 4465字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.03.025

摘要

对红外透射光谱法测定HgCdTe液相外延材料纵向组分分布技术进行了深入的研究.红外透射光谱的理论计算采用了王庆学提出的组分分布模型,并考虑了光穿越组分梯度区时产生的干涉效应.通过测量同一样品在不同外延层厚度下的一组红外透射光谱,该方法的有效性得到了实验验证.进一步对组分模型中参数(即外延总厚度、组分互扩散区厚度、材料表面组分和HgCdTe层组分梯度)的拟合方法进行了讨论,并确定了各拟合参数的拟合精度.结果显示,该方法可作为测定HgcdTe液相外延材料组分特性的一种有效的测试评价技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建荣	中国科学院上海技术物理研究所材料器件研究中心	38	175	7.0	11.0
2	陈新强	中国科学院上海技术物理研究所材料器件研究中心	12	49	5.0	6.0
3	张传杰	中国科学院上海技术物理研究所材料器件研究中心	5	18	3.0	4.0
4	顾仁杰	中国科学院上海技术物理研究所材料器件研究中心	2	7	1.0	2.0
5	魏彦峰	中国科学院上海技术物理研究所材料器件研究中心	2	7	1.0	2.0