一种RF MEM电感及其LC低通滤波器的模拟和设计

• 作者: 廖小平 武锐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面MEM电感 LC低通滤波器 等效电路模型 MEMS
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 644-647
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 2264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.028

摘要

模拟并设计了一种基于表面微机械加工的平面MEM电感,提出了它的等效电路模型并给出模型中参数的提取方法.由模拟结果验证了该等效电路具有较高的精度,误差在8%以内.设计的一个3.6 nH的平面MEM电感的品质因数超过20,自谐振频率超过15 GHz.由平面MEM电感构成的5阶LC低通滤波器的-3 dB带宽为3.7 GHz,0～3 GHz内的插入损耗低于1 dB.