微波等离子体的双探针诊断

• 作者: 刘华 张宝芳
• 来源期刊: 实验科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 诊断 双探针
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TN136
• 字数: 1154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4550.2008.03.005

摘要

在各等离子体中微波等离子体有电离度高,电子密度高等优良性能.其性能使微波等离子体的应用越来越广泛.微波等离子体相关参数的诊断研究也逐渐得到人们的重视.文章介绍了微波等离子体的探针诊断技术,设计了一个双探针自动诊断系统,其中ICL8083芯片作为信号发生器(产生三角波和方波),高度集成化的ADUC845芯片作数据处理器并接入计算机,经扫描采样得到离子密度波形和电压波形,取得了较好的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘华	电子科技大学自动化学院	8	24	3.0	4.0
2	张宝芳	电子科技大学自动化学院	1	2	1.0	1.0