V型微通道热沉的加工与测试

• 作者: 王保安 韩宾 高杨
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微通道热沉 工艺
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 109-111
• 页数: 3页
• 分类号: TP305
• 字数: 2022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.10.036

摘要

基于MEMS技术的V型微通道冷却器具有低热阻、低流量,高效率以及体积小等特点,能够对激光二极管阵列和其他高功率密度器件进行快速、高效地散热,成为一种新型的散热方案.介绍了V型微通道热沉的加工工艺,并利用研制的V型微通道热沉样品,模拟热源加载,进行了测试热沉散热性能的试验.通过试验数据得到微通道热沉的面积热阻仅为0.0543 K·cm2/W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	韩宾	西南科技大学信息工程学院	49	226	10.0	13.0
3	王保安	中国工程物理研究院电子工程研究所	2	10	2.0	2.0