洁净室气密性检测方法研究——国标《洁净室施工及验收规范》编制组研讨系列课题之八

• 作者: 张彦国 张益昭 曹国庆 欧少华 汪亚兵 沈晋明 蔡正明 许钟麟
• 来源期刊: 暖通空调
• 学科: 政治法律
• 关键词: 洁净室 气密性 压力衰减 半衰期 小时泄漏率
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: D9
• 字数: 5139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8501.2008.11.001

摘要

分析了在正、负压洁净室进行洁净室气密性验证的重要性,对洁净室气密性相关问题进行了理论计算,给出了具体检测方法,并进行了实验研究.结果表明,一个密封很好的洁净室,500 Pa压力的半衰期不足5 min,小时泄漏率不到10%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈晋明		178	2119	23.0	38.0
2	曹国庆		58	254	8.0	13.0
3	张益昭		58	373	11.0	16.0
4	许钟麟		83	600	12.0	21.0
5	张彦国		38	206	8.0	12.0
6	蔡正明		2	8	1.0	2.0
7	汪亚兵		8	52	4.0	7.0
8	欧少华		2	8	1.0	2.0