激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2

• 作者: 余平 张勇 张晋敏 曾武贤 杨子义 梁艳 肖清泉 谢泉
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 激光扫描退火 结晶性质 显微结构
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1087-1090
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|O76|Q246
• 字数: 3022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2008.07.009

摘要

用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si(100)衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响.测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富硅高温相α-FeSi2,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高.