同位素薄膜厚度在线测量系统

• 作者: 宁宗奇 林万勇 林砺宗
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 同位素 薄膜厚度 误差分析 检测控制
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 自动化测试
• 页码范围: 952-954,961
• 页数: 4页
• 分类号: TP274.2|TM930.11
• 语种: 中文

摘要

针对宽幅薄膜厚度实时测量的难点,设计了同位索薄膜厚度在线系统;提出了两点法来确定系统工作曲线,两点法减少了确定工作曲线的试验工作量,提高了工作曲线适应不同测量条件的能力;在分析了测量中出现的各种误差的基础上,讨论了针对各种误差的校正方法,采用了脉冲定时计数的方法测量信号频率,有效地提高了测量精度,具有广泛的应用价值;该系统在测量薄膜厚度时取得了良好的测量结果,并已经有产品进入市场.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林砺宗	华东理工大学机械动力工程学院	75	412	11.0	16.0
2	宁宗奇	华东理工大学机械动力工程学院	1	3	1.0	1.0
3	林万勇		1	3	1.0	1.0