极紫外单色仪波长定标

• 作者: 刘震 李启良 李敏 董宁宁 陈波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: EUV单色仪 定标 多层膜反射镜 准确度 重复性
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1660-1665
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.1|O434.2
• 字数: 3554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.09.016

摘要

给出了一种新的极紫外(EUV)单色仪定标方法.通过测量标准气体He空阴极光源的30.38和58.43nm两条发射光谱和标定过的中心波长为13.90nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值位置,对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标,将所定的标准点在单色仪的运动轨迹上做了相应的标识,并用Origin软件进行处理,利用一元二次方程得出拟合曲线.对标定结果做了分析,得出了在12～60nm波段内,用激光等离子体光源软X射线反射率计测量多层膜反射镜反射峰值位置时,测量准确度为0.08nm,测量重复性为士0.04nm.测量误差主要来源是光源的不稳定性和机械转动误差.