一种新型电容式压力传感器

• 作者: 秦明 黄庆安 黄晓东 黄见秋
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式压力传感器 电致伸缩 pn结自停止腐蚀 粘结剂键合 线性度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 428-432
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.03.006

摘要

提出了一种新的电容式压力传感器.传感器结构为由Al/SiO2/n-type Si等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键合的方式制造,制造过程仅需三块掩模板.对不同边长传感器进行测试,在410～1010hPa的动态范围,边长为1000,1200和1400靘的压力传感器,相应灵敏度分别为1.8,2.3和3.6fF/hPa.边长为1500靘的传感器,其灵敏度为4.6fF/hPa,全程非线性度为6.4%,最大滞回误差为3.6%.分析结果表明介电常数变化是引起电容变化的主要原因.