SOI—纳米技术时代的高端硅基材料

• 作者: 林成鲁
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 高端硅基材料 绝缘体上硅 绝缘体上应变硅 绝缘体上锗
• 年，卷（期）: gnclxx_2008,（1）
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TN304

摘要

绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料。本文详细介绍了SOI在半导体技术领域中的应用;以及近年来为满足特殊应用要求而研发出的多种SOI新材料及其制备技术;综述了绝缘体上应变硅(sSOI)、绝缘体上锗(GOI)等SOI技术的研发现状和发展动向;最后,展望了SOI技术的发展前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林成鲁		44	595	15.0	23.0