THz量子级联激光器用材料的生长及器件制作

• 作者: 曹俊诚 谭智勇 韩英军 黎华
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 量子级联激光器 分子束外延
• 年，卷（期）: gnclxx_2008,（1）
• 页码范围: 25-26
• 页数: 2页
• 分类号: TN248

摘要

采用分子束外延法,生长了GaAs/Al_0.17Ga_0.85As基共振声子辅助跃迁的太赫兹量子级联激光器,并按单面金属波导制备工艺制作了器件。材料的结构通过高分辨X射线衍射来确定。在温度为9～150K的范围内,测量了器件的Ⅰ—Ⅴ曲线。