高精度微光学器件激光直写光刻系统研究

• 作者: 杨特育
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 激光直写系统 光刻 交流伺服电机 ISA
• 年，卷（期）: 2008,（24）
• 所属期刊栏目: 电路设计
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TP274
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2008.24.007

摘要

设计一套高精度激光直写光刻系统,它采用带 17位增量式编码器的松下MINAS A系列交流伺服马达,同时还采用基于高精密滚珠丝杆和超精密线性滑轨导向的x-y运动平台,可以实现约30 nm的运动控制灵敏度.针对该系统开发一套基于ISA总线的三维运动控制卡.实验表明该激光直写光刻系统完全能够满足光刻精度的要求,并且具有控制简单、行程轨迹精确等特点,适用于许多微光学器件加工领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨特育	合肥学院双实中心	13	34	4.0	5.0