基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析

• 作者: Fan Zheng-Xiu Kong Wei-Jin Sun Xin 云茂金 刘均海 邵建达
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射效率 多层介质膜光栅 严格耦合波理论圹
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 4904-4910
• 页数: 7页
• 分类号: O37
• 字数: 4631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.08.040

摘要

基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的介质膜光栅获得衍射效率优于96%的结构参数.数值计算表明,顶层材料为HfO2的介质膜光栅具有更宽的结构选择范围.最后分析了介质膜光栅的制备容差和允许的入射角度范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	云茂金	青岛大学物理科学学院	35	154	8.0	11.0
3	刘均海	青岛大学物理科学学院	7	48	4.0	6.0
4	Kong Wei-Jin	青岛大学物理科学学院	1	24	1.0	1.0
5	Sun Xin	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	24	1.0	1.0
6	Fan Zheng-Xiu	青岛大学物理科学学院	1	24	1.0	1.0