金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响

• 作者: 张广安 王立平 王静
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: CrN薄膜 磁控溅射 金属复合 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 30-32,38
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2008.05.008

摘要

采用反应磁控溅射制备了CrN、Cr-Al-N与Cr-Ti-N复合薄膜;利用XRD与SEM表征了薄膜的结构及断面形貌;采用摩擦磨损实验机考察了薄膜的摩擦磨损性能;研究了金属复合对薄膜结构和摩擦磨损性能的影响.结果表明:所制备的复合薄膜中Al与Ti均以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子.形成固溶体的合金复合薄膜;合金复合后薄膜的结晶性变差,晶粒均出现细化;合金复合薄膜的摩擦磨损性能均有不同程度的提高.其中Cr-Al-N薄膜的耐磨性极大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立平	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	57	810	15.0	27.0
2	张广安	兰州大学物理科学与技术学院	29	137	7.0	10.0
4	王静	兰州大学物理科学与技术学院	135	1518	20.0	36.0