光电导开关中的隧穿现象

• 作者: 刘庆纲 江宁川 胡小唐 赵琳 高霞
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型光电导开关(PCSS) 隧道结 隧穿现象 AFM阳极诱导氧化
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 269-272
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.021

摘要

采用光刻和大气环境下原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化加工相结合的加工方法,加工由Ti-TiOx-Ti纳米级隧道结构成其基本结构的微型光电导开关(PCSS),并对其电特性进行了研究和分析.研究结果表明在大气室温条件下,微型PC-SS的输出特性随氧化物宽度不同而不同,当宽度小于100 nm时,其输出特性表现为在一个线性峰值的输出过后,又出现了一个非线性的峰值;在一定条件下Ti-TiOx-Ti纳米级隧道结存在隧穿效应,且其隧穿特性随绝缘金属氧化物的宽度不同而不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆纲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	189	8.0	10.0
2	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	赵琳	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	16	182	7.0	13.0
4	高霞	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	江宁川	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	0	0.0	0.0