基于精简标准单元库的OPC复用技术

• 作者: 叶甜春 李志刚 杨清华 焦海龙 陈岚
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 精简标准单元库 OPC复用 可制造性设计 电气仿真
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1016-1021
• 页数: 6页
• 分类号: TN402
• 字数: 4895字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.05.041

摘要

提出了一种对标准单元的光学邻近效应校正结果进行复用的方法,并通过将传统标准单元中的所有核心逻辑通过反相器和二选一多路选择器的组合来实现,得到了一套可制造性强的精简标准单元库,从而使OPC复用技术得以有效实施,并将在很大程度上提高芯片生产效率和降低掩模数据存储量.精简标准单元库中单元的电气仿真结果表明其在面积、速度、功耗方面与传统标准单元库相比性能损失很小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈岚	中国科学院微电子研究所共性技术研究室	86	361	10.0	14.0
2	叶甜春	中国科学院微电子研究所共性技术研究室	200	911	14.0	18.0
3	李志刚	中国科学院微电子研究所共性技术研究室	103	1906	24.0	41.0
4	焦海龙	中国科学院微电子研究所共性技术研究室	6	62	5.0	6.0
5	杨清华	中国科学院微电子研究所共性技术研究室	7	24	3.0	4.0