CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃体系烧结性能的正交研究

• 作者: 周晓华 张树人 李波 胡鉴耿
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: CaO-B2O3-SiO2系玻璃 LTCC CaSiO3
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 356-358
• 页数: 3页
• 分类号: TQ461

摘要

采用正交试验法（三因素三水平），研究烧结工艺（烧结温度、保温时间、升温速率）对自主设计的CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃的介质损耗的影响，因素主次顺序为烧结温度、升温速率、保温时间。选取优化工艺（烧结温度900℃、升温速率8℃／min、保温时间10rain）烧结，测定介质损耗为1．81×10^-4，介电常数为5．6（IMHz）；对样品进行XRD衍射分析，结果表明，晶相依次为CaSiO3、CaB2O4和少量SiO2；SEM形貌分析、EDS分析验证了CaSiO3的存在；微观结构分析表明烧结温度的升高有利于晶粒长大、气孔减少、降低介质损耗。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	187	1176	16.0	24.0
2	周晓华	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	70	468	11.0	17.0
3	李波	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	69	486	12.0	17.0
4	胡鉴耿	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	5	2.0	2.0