利用喷墨打印技术制备的类神经气体传感器

• 作者: 周嘉 杨涓涓 王聪 王金意 蔡文斌 黄宜平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 喷墨打印技术 沸石分子筛 DMMP 阻抗型传感器
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 385-387
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.3
• 字数: 2622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.004

摘要

利用喷墨打印技术沉积生物高分子溶液的方法,打印出金的梳状微电极的阵列图形,并采用NaX型沸石分子筛作为敏感膜,研制了探测神经类毒气沙林的相似物DMMP气体的阻抗型传感器.电极图形使用简单的绘图软件autoCAD画出,通过简单改进过的办公用喷墨打印机在金衬底上打印一层自组装膜的阻挡层,经过湿法刻蚀后得到了梳状微电极阵列.将制得的传感器对1 ppm(即1×10-6)DMMP气体进行检测,测得在0.01 Hz处,其电阻的相对变化值为10.7%.与传统MEMS工艺相比较,喷墨打印方法制备传感器具有工艺步骤简化,成本低,可在柔性等不同材料上制作等优点,有着广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王聪	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	14	93	5.0	9.0
2	周嘉	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	25	123	7.0	10.0
3	杨涓涓	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	2	14	2.0	2.0