基于MEMS技术的介质隔离压力传感器工艺研究

• 作者: 郭源生
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS工艺技术 敏感元件 介质隔离 生产工艺
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 18-19,31
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2008.11.006

摘要

运用MEMS工艺技术制作的敏感元件和介质隔离特殊封装工艺,研制出压力传感器.在腔体内置填充架、充油位置、波纹膜结构等进行了技术创新,使产品的过滤脉冲压力、抗过载和温度系数具有一定的提高.并就创新点对参数影响等特征进行相关论述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭源生		10	41	3.0	6.0