氢氟酸和PSG牺牲层腐蚀的TDC模型

• 作者: 吴昌聚 王昊 王跃林 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散系数 腐蚀速率 牺牲层,TDC模型
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1094-1102
• 页数: 9页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 1185字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.06.015

摘要

对不同结构,即直沟道结构、冒泡结构和组合沟道结构的氢氟酸牺牲层腐蚀进行了研究.以往的牺牲层腐蚀模型和实验结果不能很好地吻合.以往的模型和实验结果的误差随着腐蚀时间的增加而增大.本文提出了一个修正模型,在修正模型中:HF的扩散系数是浓度和温度的函数;腐蚀速率常数是温度的函数;此外还考虑了腐蚀产物对腐蚀过程的影响.对于组合沟道结构,对腐蚀前端形状的描述采用了一个新的数学模型.实验结果和以往的模型以及修正模型进行了对比,结果表明修正模型能够和实验结果吻合得很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王昊	浙江大学信息与电子工程系	46	413	10.0	19.0
2	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
3	吴昌聚	浙江大学信息与电子工程系	18	111	6.0	10.0
4	马慧莲	浙江大学信息与电子工程系	57	569	13.0	21.0
5	王跃林	浙江大学信息与电子工程系	39	434	11.0	19.0