新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制

• 作者: 吴亚明 张飞岭 穆参军
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 大尺寸光学扫描镜 电磁驱动 大角度转动 光学反射率
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 583-587
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 3885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.03.036

摘要

设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴亚明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	35	193	9.0	11.0
2	穆参军	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	3	25	2.0	3.0
6	张飞岭		1	16	1.0	1.0