平面子孔径拼接测量研究

• 作者: 丁凌艳 戴一帆 陈善勇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 平面镜测量 子孔径 拼接算法 SiC平面镜
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 978-985
• 页数: 8页
• 分类号: TH703|TH744.3
• 字数: 3648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.06.002

摘要

通过椭圆形(长轴为225 mm,短轴为161 mm)SiC平面反射镜的全口径面形加工测量实验,验证了一种新的子孔径拼接测量算法-子孔径拼接迭代算法(SASL算法)的有效性.用100 mm口径平面平晶的子孔径拼接测量与全口径测量的对比实验,确定了拼接测量相关参数及测量装置的精度指标.在此基础上设计了SiC平面反射镜的子孔径拼接实验,在搭建的拼接装置上实现了5次离子束迭代加工过程和最终的全口径面形测量.加工过程中的测量结果为面形误差修正提供了准确的数据,保证了最终全口径面形误差RMS快速收敛到50 nm.实验证明,SASL算法能大大放宽拼接装置对对准运动的精度要求,并能减少拼接过程对拼接结果的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	陈善勇	国防科技大学机电工程与自动化学院	12	131	8.0	11.0
3	丁凌艳	国防科技大学机电工程与自动化学院	3	45	2.0	3.0