光纤直接连接型MEMS光开关的设计方法研究

• 作者: 程永生 赵兴海 高杨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS光开关 高功率激光 连接特性 光纤致动器 激光能量续断器
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 473-476
• 页数: 4页
• 分类号: TH744|TN249
• 字数: 2499字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.027

摘要

仿真和实验研究了一种作为高功率激光能量续断器的光纤直接连接型MEMS光开关的设计方法,包括光纤对准误差对激光传能特性的影响、致动器的设计原则与基本性能指标.光纤对准误差中,横向偏移对耦合效率的影响较大,角度偏移的影响不明显.对比了芯径400 μm光纤分别与芯径400 μm、600 μm光纤对接的耦合效率,证明芯径400 μm光纤与芯径600 μm光纤对接时的耦合效率对对准误差更加稳健.建立了光纤的等效悬臂梁模型,讨论了光开关中致动器的设计原则,论证了其基本性能指标.致动器的设计可以只考虑横向偏移对耦合效率的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程永生	中国工程物理研究院电子工程研究所	39	274	8.0	15.0
2	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
3	赵兴海	中国工程物理研究院电子工程研究所	34	240	9.0	14.0