超声喷雾热解法制备 TiO2 薄膜

• 作者: 何胜 刘敏 罗友良 羊亿 黄素梅
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2 Ti(SO4)2 超声喷雾法 锐钛矿
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 显示材料
• 页码范围: 236-238
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.01.055

摘要

成功地利用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制备了 TiO2薄膜.Ti (SO4)2 作为钛源,甲醇作为溶剂.利用超声波的雾化作用将反应物形成细小的雾滴,并喷射到预热的玻璃衬底上分解而形成稳定的 TiO2薄膜.为获得致密均匀的薄膜,优化了反应物浓度、温度、沉积时间等参数.利用 X 射线衍射与原子力显微镜表征了薄膜的晶体结构与表面形貌.X 射线结果表明薄膜为多晶锐钛矿结构 TiOO2 薄膜,并在(101)方向呈现出择优趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘敏	湖南师范大学物理与信息科学学院	25	83	5.0	8.0
2	羊亿	湖南师范大学物理与信息科学学院	8	46	4.0	6.0
3	罗友良	湖南师范大学物理与信息科学学院	5	29	3.0	5.0
4	何胜	湖南师范大学物理与信息科学学院	6	158	4.0	6.0
5	黄素梅	华东师范大学纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心	5	38	3.0	5.0