晶圆工作台运动精度数据采集及处理

• 作者: 刘吉安 刘建奇 李克天 翁纪钊 黄向修
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: XY 工作台 光栅尺 数据采集卡 数据处理 送片精度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 测控技术
• 页码范围: 20-21,29
• 页数: 3页
• 分类号: TP274
• 字数: 2067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2008.03.007

摘要

本文采用光栅尺、数据采集卡以及开发的测量软件建立了一个粘片机晶圆传送精度检测系统.该系统通过在运行过程中适当设置采样频率和剔除冗余数据以获得有用的数据,并经过数据处理完成工作台的送片精度测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李克天	广东工业大学机电学院	113	527	12.0	16.0
2	刘吉安	广东工业大学机电学院	26	72	5.0	7.0
3	翁纪钊	广东工业大学机电学院	4	14	2.0	3.0
4	刘建奇	广东工业大学机电学院	4	4	1.0	1.0
5	黄向修	广东工业大学机电学院	4	4	1.0	1.0