MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术

• 作者: 常洪龙 徐景辉 苑伟政 谢建兵 谢志雄
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CAD 工艺级 系统级 抽取
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 624-627
• 页数: 4页
• 分类号: TH166
• 字数: 2742字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.023

摘要

研究了一种抽取版图信息构建系统级模型的技术,即从标准版图文件中提取结构的几何信息和拓扑信息,将其转换对应于系统级中的参数化元件库,并按原始版图拓扑互连,从而生成基于saber仿真平台的系统级模型文件,实现了MEMS工艺级到系统级的数据传递,使用C++编程语言开发了相应的转换接口.通过典型器件--微加速度计和微变形镜的多种结构验证了转换方法的可行性.