气相二氧化硅发展新模式及其对多晶硅工业的促进作用

• 作者: 冯钦邦 段先健
• 来源期刊: 有机硅氟资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 气相二氧化硅 多晶硅 工业化 甲基三氯硅烷 气相法白炭黑 化学机械抛光 补强填料 白色粉末
• 年，卷（期）: yjgfzx_2008,（7）
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TQ127.2

摘要

气相二氧化硅是硅的卤化物（主要是四氯化硅和甲基三氯硅烷）在氢氧火焰中高温水解生成的纳米级白色粉末，又叫气相法白炭黑，是重要的补强填料和多功能的添加剂，广泛应用于硅橡胶、橡胶、塑料、涂料、油墨、医药、造纸、食品、化妆晶、化学机械抛光等行业，可起到补强、增稠、触变、消光等作用，它是一种在世界范围内真正工业化的纳米材料。气相二氧化硅在国外已有60多年的生产历史，

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段先健		59	280	8.0	16.0
2	冯钦邦		13	2	1.0	1.0