MEMS开关技术的研究与进展

• 作者: 曲利新
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: MEMS 电源滤波器 电磁兼容 EMI
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 电子技术
• 页码范围: 147-149
• 页数: 3页
• 分类号: TN303
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2008.01.053

摘要

开关是信号变为现实.在MEMS技术的基础上,分析了MEMS开关技术及其在电路系统中的应用,并着重阐述了射频MEMS的结构及其相关技术特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲利新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	99	6.0	9.0