薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析

• 作者: 包达群 张翊 郭航
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 压电等效电路模型 结构参数优化
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 292-296
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.027

摘要

建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性.提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将它们作为传输线引入到等效电路当中.运用PSPICE软件研究了谐振器各结构层的尺寸参数对谐振器谐振频率、品质因数和有效机电耦合系数的影响,并讨论了使用不同材料的电极,谐振器品质因数的变化情况.基于以上分析,对谐振器的结构参数进行优化,获得薄膜体声波谐振器性能的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张翊	厦门大学萨本栋微机电研究中心	12	89	5.0	9.0
2	包达群	厦门大学萨本栋微机电研究中心	2	4	2.0	2.0
3	郭航	厦门大学萨本栋微机电研究中心	34	112	6.0	8.0