低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程

• 作者: 张海波 李维勤
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 绝缘薄膜 电子束照射 带电效应 数值模拟
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 3219-3229
• 页数: 11页
• 分类号: O4
• 字数: 9271字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.05.095

摘要

为揭示低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程及其机理,建立了同时考虑电子散射与电子输运的计算模型,综合Monte Carlo方法和有限差分法进行了数值模拟,获得了内部空间电荷、泄漏电流和表面电位随电子束照射的演化规律.结果表明,入射电子因迁移、扩散效应会超越通常的散射区域产生负空间电荷分布,并经过一定的渡越时间后到达接地基板,形成泄漏电流,负带电暂态过程则随着泄漏电流的增加而趋于平衡.在平衡状态下.泄漏电流随电子束能量和电流而增大;薄膜净负电荷量和表面电位随膜厚而增加、随电子迁移率的增大而降低,随着电子束能量的变化均会出现最大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李维勤	西安交通大学电子科学与技术系教育部电子物理与器件重点实验室	5	9	2.0	3.0
2	张海波	西安交通大学电子科学与技术系教育部电子物理与器件重点实验室	25	90	5.0	6.0