f=210GHz的超高速InP/InGaAs单异质结晶体管

• 作者: 于进勇 刘新宇 徐安怀 程伟 金智 齐鸣
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: InP 异质结晶体管 聚酰亚胺 平坦化
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 414-417
• 页数: 4页
• 分类号: TN385
• 字数: 848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.03.003

摘要

成功地将Polyimide钝化平坦化工艺应用于InP/InGaAs单异质结晶体管制作工艺中.在Vce=1.1V,Ic=33.5mA的偏置条件下,发射极尺寸为1.4μm×1.5μm的器件,其ft达到210GHz.这种器件非常适合高速低功耗方面的应用,例如超高速数模混合电路以及光学通信系统等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘新宇	中国科学院微电子研究所	141	717	13.0	18.0
2	齐鸣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	34	145	8.0	9.0
3	徐安怀	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	20	94	7.0	8.0
4	程伟	中国科学院微电子研究所	28	428	9.0	20.0
5	金智	中国科学院微电子研究所	30	92	5.0	8.0
6	于进勇	中国科学院微电子研究所	9	91	8.0	9.0