电容式微加工超声传感器结构参数对性能的影响分析

• 作者: 宋光德 官志坚 张慧 靳世久
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微加工超声传感器(cMUT) 塌陷电压 谐振频率
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 951-953
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.06.011

摘要

介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的工作原理,通过理论计算和有限元仿真分析,讨论了cMUT中薄膜厚度、薄膜半径、薄膜残余应力和空腔厚度的变化对传感器的塌陷电压和谐振频率的影响,为传感器的设计和制作提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳世久	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
2	宋光德	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	24	212	9.0	14.0
3	张慧	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	29	170	8.0	12.0
4	官志坚	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	66	4.0	5.0