石英晶体谐振式绝对压力传感器研制

• 作者: 姚东媛 潘安宝 谢树海 闻化 高成臣
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体 谐振 压力传感器
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 85-86,89
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1313字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.01.028

摘要

介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度.研制的传感器量程为 0～120kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚东媛	中国电子科技集团公司第四十九研究所	8	12	2.0	2.0
2	潘安宝		1	4	1.0	1.0
3	闻化		4	23	3.0	4.0
4	高成臣	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	34	4.0	4.0
5	谢树海	中国电子科技集团公司第四十九研究所	1	4	1.0	1.0